RAFS003
热式流量传感器芯片。
概述
RAFS003 型热式流量芯片，可提供与质量流量成线性相关的电压输出信号。该芯片采用了体硅各向异性腐蚀 工艺制作出了悬膜结构，从而提升了器件的响应速度、降低了功耗。芯片的热敏电阻为具有正温度系数的铂 金薄膜电阻组成，当被测气体通过芯片感应薄膜区时，由上下游铂电阻的阻值变化从而计算出被测气体的质量流量。
特点
- 流量范围：0 至 80 m/s
- 精度：±5%FS
- 快速响应时间：≤15 ms
- 工作温度范围：-40℃ 至 125℃
应用
汽车进气检测
供货形式
- Tape Frame 分立芯片交付
- 6 英寸晶圆（未切割）交付